Our Equipments and Services
분석 장비 및 제공 서비스
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자체장비
1.FIB / SEM장비
Helios 5 CX(Thermo Fisher)
분석서비스
- Cross-setion milling
- TEM lamella sample preparation
- Failure analsys in integrated circuit
- 3D Tomography
- TEM lamella sample preparation
- Failure analsys in integrated circuit
- 3D Tomography
자체장비
2. FIB / SEM장비
Quanta 3D FEG (FEI)
분석서비스
- Cross-section milling
- TEM lamella sample preparation
- Failure analysis in integrated circuit
- 3D Tomography
- TEM lamella sample preparation
- Failure analysis in integrated circuit
- 3D Tomography
자체장비
3.FIB장비
Prometheus (SLI)
분석서비스
- Cross-setion milling
- TEM lamella sample preparation
- Failure analsys in integrated circuit
- 3D Tomography
- TEM lamella sample preparation
- Failure analsys in integrated circuit
- 3D Tomography
외부장비
4.TEM장비
JEM ARM 200F (JEOL)
분석서비스
-미세조직 형상 관찰
-결정 결합구조 분석 (HR-TEM, STEM, SADP, FFT)
-원소 정성/정량 분석 (EDS)
-결정 결합구조 분석 (HR-TEM, STEM, SADP, FFT)
-원소 정성/정량 분석 (EDS)
자체장비
5.SEM장비
Quanta 3D FEG (FEI)
분석서비스
-각종 시료의 미세영역 표면 관찰
-Electron channeling contrast
-Electron channeling contrast
